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項 目 |
仕 様 |
| センサ部 |
方 式 |
光ヘテロダイン法
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| レーザ光源 |
ヘリウムネオン・レーザ |
| 波 長 |
632.8nm
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| レーザ光出力 |
1mW以下 クラス２
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| 測定距離 |
108mm
〜 2000mm |
| ビーム径
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20μm (測定距離 200mm時）
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| 外形寸法
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センサヘッド（レンズ、突起部除く）
59(W)×43(H)×122(D) mm |
| ファイバ長
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3m（9mまで改造可）
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| センサ部質量
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センサヘッド 0.55kg
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| 変換器部
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測定周波数範囲
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0.1Hz〜25kHz
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| 測定速度範囲
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30nm/s〜0.1m/s |
| 速度レンジ
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10mm/s/V、 1mm/s/V （２レンジ切替）
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変位レンジ
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速度レンジ10mm/s/V使用時
100μm/V、10μm/V、1μm/V （３レンジ切替）
速度レンジ1mm/s／V使用時
10μm/V、1μm/V、0.1μm/V （３レンジ切替） |
加速度レンジ
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速度レンジ10mm/s／V使用時
100m/s2／V、 10m/s2 ／V、 1m/s2 ／V（ ３レンジ切替）
速度レンジ1mm/s／V使用時
10m/s2／V、 1m/s2 ／V、 0.1m/s2 ／V（ ３レンジ切替）
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| 出力電圧
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±10V（出力インピーダンス 50Ω） |
| 確度 |
±2% F.S |
| 測定周波数範囲 |
速度 |
ＬＰＦ：250Hz、2.5kHz、25kHz（３レンジ切替）
ＨＰＦ：0.1Hz、25Hz（２レンジ切替） |
| 変位 |
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変位レンジ
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速度レンジ
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測定周波数範囲
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100μm/V
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10mm/s／V
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0.5Hz〜250Hz
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10μm/V
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5Hz〜2.5kHz
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1μm/V
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50Hz〜25kHz
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10μm/V
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1mm
/s／V
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0.5Hz〜250Hz
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1μm/V
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5Hz〜2.5kHz
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0.1μm/V
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50Hz〜25kHz
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※但し、速度出力のLPF、HPFの設定値が優先されます
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| 加速度 |
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加速度レンジ
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速度レンジ
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測定周波数範囲
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100m/s2／Ｖ
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10mm/s／V
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25Hz〜25kHz
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10m/s2／Ｖ
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2.5Hz〜2.5kHz
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1m/s2／Ｖ
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0.1Hz〜250Hz
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10m/s2／Ｖ
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1mm
/s／V
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25Hz〜25kHz
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1m/s2／Ｖ
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2.5Hz〜2.5kHz
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0.1m/s2／Ｖ
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0.1Hz〜250Hz
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※但し、速度出力のLPF、HPFの設定値が優先されます |
| 一般仕様 |
使用電源
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AC85V〜264V 47Hz〜63Hz
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| 動作温度範囲
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0〜45℃
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| 動作湿度範囲
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30〜80% （但し、結露しないこと）
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| 本体質量
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約11ｋｇ
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| 消費電力
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70VA
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