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項 目 |
仕 様 |
| センサ部 |
方 式 |
光ヘテロダイン法 |
| レーザ光源 |
ヘリウムネオン・レーザ |
| 波 長 |
632.8nm |
| レーザ光出力 |
1mW以下 クラス２ |
| 測定距離 |
108mm 〜 2000mm |
| ビーム径 |
20μm (測定距離 200mm時） |
| 外形寸法 |
センサヘッド（レンズ、突起部除く） 59(W)×43(H)×122(D) mm |
| ファイバ長 |
3m（9mまで改造可） |
| センサ部質量 |
センサヘッド 0.55kg |
| 変換器部 |
測定周波数範囲 |
0.1Hz〜3MHz
0.1Hz〜100kHz （ノイズリダクション使用時） |
| 測定速度範囲 |
0.1μm/s〜10m/s
0.1μm/s〜1m/s （ノイズリダクション使用時） |
| 速度レンジ |
1m/s/V （最大±10m/s）
0.1m/s/V （最大±1m/s）
0.01m/s/V （最大±0.1m/s）
0.001m/s/V （最大±0.01m/s） |
変位レンジ
※オプション |
10 -3 m/V (1Hz〜5kHz)
10 -5 m/V (10Hz〜50kHz)
10 -7 m/V (1kHz〜250kHz) |
加速度レンジ
※オプション |
10 1 m/s 2 /V (1Hz〜5kHz)
10 3 m/s 2 /V (1Hz〜50kHz)
10 5 m/s 2 /V (20Hz〜100kHz) |
| 出力電圧 |
±10V（出力インピーダンス 50Ω） |
| ローパスフィルタ |
25kHz、250kHz、1.5MHz、OFF(3MHz) |
| ハイパスフィルタ |
10Hz、OFF(0.1Hz) |
| 外形寸法 |
360(W)x178(H)x390(D) mm （突起部除く） |
| 一般仕様 |
使用電源 |
AC100V ±10% 50/60Hz |
| 動作温度範囲 |
0〜45℃ |
| 動作湿度範囲 |
20〜80% （但し、結露しないこと） |
| 本体質量 |
約11ｋｇ |
| 消費電力 |
70VA |
