測定事例　『弾性波の振動測定』

写真１　マイクロリレーの弾性波測定	マイクロリレー作動時の電極振動（弾性波）を測定した例です。 写真１は、マイクロリレーの電極部にレーザ光を照射し、振動測定をしている様子です。 図１は、電極部の弾性波を測定した例です。 電極の接点が完全に接触する過程で、バウンドが発生している様子が見られます。
図１　電極部の弾性波（速度波形）	測定条件 使用機器 V1002 速度レンジ 0.01m/s/V ローパスフィルタ 3MHz ハイパスフィルタ 0.1Hz ノイズリダクション ON