利用分野

代表的な顕微鏡型振動測定システム

主な利用分野

・MEMSの振動解析 ・マイクロマシンの振動解析 ・カンチレバーの振動解析 ・加速度センサの振動解析 ・マイクロスイッチの振動解析 ・SAWフィルタの振動解析 …

適用例１　３軸加速度センサの振動解析
（写真は静電容量検出型の加速度センサです）

適用例２　カンチレバーの振動測定 カンチレバーは自由端近傍に探針が形成された片持ち梁の構造をもちます。走査型プローブ顕微鏡において使用され、光学顕微鏡の対物レンズに相当する役割を果たします。カンチレバーの伝達特性の測定等の用途で利用されています。

適用例３　マイクロスイッチ可動部の振動測定 MEMを用いた超小型スイッチです。 静電駆動のため、低消費電力で動作します。 ガラス窓を通して真空チャンバ内のMEMSスイッチにレーザ光を照射することで、可動部の変位量やダンピング量等を測定します。 （MEMSスイッチを空気中で使用すると、空気の粘性で動作が大きく変わる為、通常は真空チャンバ内で測定を行います）